測定軸 X・Y・Z ステージ移動量 X100×Y50mm Z軸移動量 150mm 測定精度(XY軸) 3.5+L/50μm 【L : 測定長(mm)】 測定精度(Z軸) 4+L/15μm 【L : 測定長(mm)】 最小読取表示 1.0μm/0.5μm/0.1μm (切替有) 測定総合倍率 50、100、200、500×(レボルバにより切替タイプ) 鏡筒 三眼(クロス十字接眼レンズ内蔵) 照明系 LED透過・反射照明 ※FA(フォーカスエイド)搭載反射照明装置
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