コントローラ | IM-7000 |
ヘ ッ ド | IM-7020 |
撮影素子 | 1型 660万画素 モノクロCMOS |
ディスプレイ | 10.4型 LCDモニタ (XGA:1024×768) |
視 野 | 広視野測定モード : 200mm×200mm(4角R50) 高精度測定モード : 125mm×125mm |
最小表示単位 | 0.1μm |
繰り返し精度 | 広視野測定モード : ステージ移動なし:±1μm ステージ移動あり:±2μm 高精度測定モード : ステージ移動なし:±0.5μm ステージ移動あり:±1.5μm |
測定精度 |
広視野測定モード : 連結なし:±5μm 連結測定:±(7+0.02L)μm 高精度測定モード : 連結なし:±2μm 連結測定:±(4+0.02L)μm |
ライトプローブ 測定 |
測定可能領域(XY):90mm×90mm 最大測定深さ :30mm ライトプローブ直径 :Φ3mm 繰り返し精度 :±2μm 測定精度 :±(8+0.02L)μm |
記 録 | 500GB |
使用周囲温度 | +10~35℃ |
使用周囲湿度 | 20~80%RH (結露なきこと) |
透過照明 | 方式 : テレセントリック透過照明 |
落射照明 | 方式 : 4分割マルチアングル照明(電動) :スリットリング照明(電動) |
ステージ | XYステージ:移動範囲:100mm×100mm(電動) Zステージ:移動範囲:75mm(電動) 耐荷重:5kg |
電源電圧 | AC100~240V 50/60Hz |
質 量 | コントローラー :約8kg ヘッド :約31kg |
付属品 | キーボード・マウス |