
| コントローラ | IM-7000 |
| ヘ ッ ド | IM-7020 |
| 撮影素子 | 1型 660万画素 モノクロCMOS |
| ディスプレイ | 10.4型 LCDモニタ (XGA:1024×768) |
| 視 野 (X軸×Y軸) |
広視野測定モード : 200mm(φ100mm+L100mm)×200mm(φ100mm+L100mm)(4角R50) 高精度測定モード : 125mm(□25mm+L100mm)×125mm(□25mm+L100mm) |
| 最小表示単位 | 0.1μm |
| 繰り返し精度 | 広視野測定モード : ステージ移動なし:±1μm ステージ移動あり:±2μm 高精度測定モード : ステージ移動なし:±0.5μm ステージ移動あり:±1.5μm |
| 測定精度 |
広視野測定モード : 連結なし:±5μm 連結測定:±(7+0.02L)μm 高精度測定モード : 連結なし:±2μm 連結測定:±(4+0.02L)μm |
| ライトプローブ 測定 |
測定可能領域(XY):90mm×90mm 最大測定深さ :30mm ライトプローブ直径 :Φ3mm 繰り返し精度 :±2μm 測定精度 :±(8+0.02L)μm |
| 記 録 | 500GB |
| 使用周囲温度 | +10~35℃ |
| 使用周囲湿度 | 20~80%RH (結露なきこと) |
| 透過照明 | 方式 : テレセントリック透過照明 |
| 落射照明 | 方式 : 4分割マルチアングル照明(電動) :スリットリング照明(電動) |
| ステージ | XYステージ:移動範囲:100mm×100mm(電動) Zステージ:移動範囲:75mm(電動) 耐荷重:5kg |
| 電源電圧 | AC100~240V 50/60Hz |
| 質 量 | コントローラー :約8kg ヘッド :約31kg |
| 付属品 | キーボード・マウス |