| ヘッド | XM-T1200 |
| コントローラ | XM-1500 |
| 撮影素子 | 400万画素CMOSイメージセンサ |
| ディスプレイ | 15型LCDモニター |
| ステージ部 | 耐荷重:25㎏ X軸可動範囲:±100㎜ 回転範囲:60° |
| 最小表示単位 | 距離1μm、角度0.0001度 |
| 繰り返し精度 | ステージロック時:±3μm ステージアンロック時:±4μm |
| 測定範囲 | 600㎜×300㎜×200㎜ |
| プローブ数 | 2 |
| コントローラーHDD | 320GB |
| 使用周囲温度 | +10~35℃ |
| 使用周囲湿度 | 20~80%RH (結露なきこと) |
| 電源電圧 | AC100~240V 50/60Hz |
| 質 量 | ヘッド :約39.6kg コントローラー :約7.7kg |