
| コントローラ | LM-1000 |
| ヘ ッ ド | LM-1100 |
| 撮影素子 | 1型 2000万画素 モノクロCMOS |
| ディスプレイ | 10.4型 LCDモニタ (XGA:1024×768) |
| 視 野 (X軸×Y軸) |
広視野測定モード : 225mm(25mm+L200mm) ×125mm(25mm+L100mm) 高精度測定モード :206mm(6mm+L200mm) ×106mm(6mm+L100mm) |
| 最小表示単位 | 0.1μm |
| 繰り返し精度 | 広視野測定モード : 視野内(2σ):±0.5μm 高精度測定モード : 視野内(2σ):±0.1μm ステージ移動あり(X・Y軸):±0.9μm ステージ移動あり(XY平面):±0.9μm |
| 測定精度 |
広視野測定モード :視野内(2σ):±2μm 高精度測定モード :視野内(2σ):±0.7μm ステージ移動あり(X・Y軸):±(1.8+0.02L)μm ステージ移動あり(XY平面):±(2.8+0.02L)μm |
| 高さ測定 | 繰り返し制度:±2μm 測定精度 :±(4.8+0.04L)μm |
| 記 録 | 500GB |
| 使用周囲温度 | +10~35℃ |
| 使用周囲湿度 | 20~80%RH (結露なきこと) |
| 透過照明 | 方式 : テレセントリック透過照明 |
| 落射照明 | 方式 : 4分割マルチアングル照明(電動) :スリットリング(指向性)側射照明(電動) :テレセントリック同軸照明 |
| ステージ | XYステージ:移動範囲:200×100mm(電動) :耐荷重:7kg Zステージ :移動範囲 : 75mm(電動) |
| 電源電圧 | AC100~240V 50/60Hz |
| 質 量 | コントローラー :約8kg ヘッド :約30kg |
| 付属品 | キーボード・マウス |