コントローラ | VL-500 |
測定部 | VL-570 |
ステージ | VL-550 |
ディスプレイ | 17型LCD |
測定範囲 | 低倍 φ300mm×H200mm 高倍 φ70×H50mm |
測定部寸法 | W410 × D850 × H800mm |
表示分解能 | 0.1μm |
繰り返し精度 | 2μm※測定条件付 |
自動XY連結測定範囲 | 低倍(2×2合成) φ500mm×H200mm/低倍(3×1合成)W580×D300×H200mm 高倍(2×2合成) φ110mm×H50mm/高倍(3×1合成)W150×D70×H50mm |
計測内容 | 3D計測、3D比較計測、断面比較測定、 断面計測、平面計測、幾何公差、厚み測定など |
照明 | 観察用 三色LED(R,G,B)/測定用 青色LED |
Zステージ | 電動XYθ/回転機構 360° / チルト 45°まで / 耐荷重 50kg |
電源電圧 | AC100~240V 50/60Hz |
重量 | コントローラ:3.8 kg ステージ:26 kg(VL-550) 遮光カバー:5.5 kg(VL-C2) 測定部:18.5 kg |
付属品 | PC、キーボード、マウス |