倍率 | ×10~100,000 ※写真上実倍率:ステップ数49段 (デジタルズーム:×2、×4) |
加速電圧 | 5kV/10kV/15kV |
観察条件設定 | 表面/標準/分析 |
観察モード | 導電体モード、標準モード、帯電軽減モード |
画像モード | 通常、影付1、影付2、凹凸 |
試料ステージ | X:40mm、Y:35mm (X、Yのみ) |
最大試料サイズ | 80mm(直径) |
最大試料厚さ | 50mm |
電子銃 | プリセンタードカートリッジフィラメント |
検出器 | 高感度半導体型反射電子検出器 (反射電子、二次電子、合成) |
自動化機能 | オートスタート、自動フォーカス調整(AFC)、自動輝度調整(ABC) |
記録画素 | 2560×1920画素、1280×960画素、640×480画素 |
画像データ記録 | PC付属ハードディスク他記録媒体 |
画像形式 | BMP、TIFF、JPEG |
データディスプレイ | 倍率、加速電圧、WD値、検出器、ミクロンマーカ、ミクロン値、画像No、日付、時刻、コメント |
真空ポンプ | 小型ターボ分子ポンプ:67 1/s ダイアフラムポンプ:20 1/min |
操作補助機能 | ラスターローテーション、倍率プリセット(3段) |
付属品 | PC、キーボード、マウス |
映像表示 | 600×400画素 |
キャプチャ形式 | 24bitフルカラー形式 |
登録画像枚数 | 1枚 |
カメラ撮影範囲 | Φ25mm(カメラナビ用試料ホルダー使用時) Φ15mm(標準試料ホルダー使用時) |
最大試料サイズ | Φ80mm、30mmH(カメラナビ用試料ホルダー使用時) Φ80mm、50mmH(標準試料ホルダー使用時) |