| 倍率 | ×10~100,000 ※写真上実倍率:ステップ数49段 (デジタルズーム:×2、×4) |
| 加速電圧 | 5kV/10kV/15kV |
| 観察条件設定 | 表面/標準/分析 |
| 観察モード | 導電体モード、標準モード、帯電軽減モード |
| 画像モード | 通常、影付1、影付2、凹凸 |
| 試料ステージ | X:40mm、Y:35mm (X、Yのみ) |
| 最大試料サイズ | 80mm(直径) |
| 最大試料厚さ | 50mm |
| 電子銃 | プリセンタードカートリッジフィラメント |
| 検出器 | 高感度半導体型反射電子検出器 (反射電子、二次電子、合成) |
| 自動化機能 | オートスタート、自動フォーカス調整(AFC)、自動輝度調整(ABC) |
| 記録画素 | 2560×1920画素、1280×960画素、640×480画素 |
| 画像データ記録 | PC付属ハードディスク他記録媒体 |
| 画像形式 | BMP、TIFF、JPEG |
| データディスプレイ | 倍率、加速電圧、WD値、検出器、ミクロンマーカ、ミクロン値、画像No、日付、時刻、コメント |
| 真空ポンプ | 小型ターボ分子ポンプ:67 1/s ダイアフラムポンプ:20 1/min |
| 操作補助機能 | ラスターローテーション、倍率プリセット(3段) |
| 付属品 | PC、キーボード、マウス |
| 映像表示 | 600×400画素 |
| キャプチャ形式 | 24bitフルカラー形式 |
| 登録画像枚数 | 1枚 |
| カメラ撮影範囲 | Φ25mm(カメラナビ用試料ホルダー使用時) Φ15mm(標準試料ホルダー使用時) |
| 最大試料サイズ | Φ80mm、30mmH(カメラナビ用試料ホルダー使用時) Φ80mm、50mmH(標準試料ホルダー使用時) |