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菱化システム 三次元非接触表面形状計測システム VertScan 管理番号07387

【基本測定仕様】
・選択可能波長 : 520nm
・対物レンズ : 対物レンズ10×、20×
         マイケルソン型2光束干渉対物レンズ2.5×
・接眼レンズ : CFWN 15×/14
・CCDカメラ : 2/3インチ
・データ点数 : 640(H)×480(V)
・OS : Win2000
・測定モード(Focus)モーター駆動
  高さ方向分解能 : <60nm
      測定高さ : ~3000um(データ点数に依存)
【ステージ】
・手動ステージ : X=Y=100mm移動
・手動チルト機構 : ±2度
・サンプル高さ : 100mm以下
サンプル重量 : 最大約2Kg
本体重量 : 約60Kg(顕微鏡、手動ステージ、手動チルト機構、照明装置を含む)
電源 : AC100V、15A

※写真の除振台、机は付属しておりません。

【機器ステータス】
取扱説明書あり

Ryoka Systems/非接触形状測定システム/MicromapRYOLA SYSTEM/干渉顕微鏡/VS-Measure菱化/Interference Microscope/VS-Viewer
三次元非接触表面形状測定システム/非接触表面形状測定表面形状計測システム/MM527N-M100527N/527N/MM527N/MM527N

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