・ 年式 : 2012年式 |
・ 電源 : AC100V 50/60Hz 付属トランスにて230Vに昇圧 |
・ 接続ガス : 2ライン |
・ ワークトレイサイズ : W130×D290mm |
・ チャンバサイズ ; W160×D320×H160mm |
・ 高周波電源 : 13.56MHz オートチューニングのプラズマ装置 |
・ 排気 : ロータリーポンプ |
【機器ステータス】 |
取扱説明書なし ロータリーポンプ、トランス付属しております。 販売時は、メーカーにて使用条件に合わせたチュ―ニングが必要(別途お見積) |
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