日立走査型電子顕微鏡 S-3700N 管理番号11671

【仕様】

・二次電子像分解能　：　3.0nm(加速電圧30kV、高真空モード)

　　　　　　　　　　　　10nm(加速電圧3kV、低真空モード）

・反射電子像分解能　：　4.0nm(低真空6Pa)

・　倍　　　　　率　：　15～300,000倍

・　フィラメント　　：　カートリッジ（タングステンヘアピンフィラメント）

・　加　速　電　圧　：　0.3～30kV

・　イメージシフト　：　±50um以下（WD=10mm）

・　試料微動装置　　：　5軸モータードライブユニット

　　　　　　　　　　　　X 0～150mm、Y 0～110mm

　　　　　　　　　　　　Z(WD)5～65mm、試料回転360度、試料傾斜-20～90度

・　最大試料サイズ　：　300mm径

・　最大試料厚さ　　：　110ｍｍ（WD10ｍｍ）

・　寸法、　重量　　：　本体　W800×D850×H1600ｍｍ、約550㎏

　　　　　　　　　　　　ディスプレイ　W850×D800×H1200ｍｍ、約120㎏

・　電　　　　　源　：　単相 AC 100V、2kVA

・EDX分析装置（EDAX：APOLLO XPP、10mm2）

・反射電子検出器（BSE）

・低真空二次電子検出器（ESED）

・5軸モータードライブユニット、各種試料台等付属品、

・マルチホルダ　Φ15ｍｍ×4

・取扱説明書

・油回転ポンプGLD-136B×1台

・コンプレッサ日立0.2LE-5S×1台
・チャンバースコープ

・電源投入、真空引き、SE像、BSE像、EDX画像について動作確認済みとなっております。
・本体にはキャスタ、アジャスタ足は付いておりません。（床に直接設置するタイプとなります）

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽・恒温恒湿器: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

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