武蔵エンジニアリングセミオートディスペンサー FAD2500 管理番号09388

【仕様】

年　　式：2014年
動作速度Ｘ／Ｙ／Ｚ　　　　：　MAX 1.000mm/s
繰返位置決め精度Ｘ／Ｙ／Ｚ：　±0.01mm
ヘッド　　　　　　　　　　：　１ヘッド、1カメラ
メカ式(MPP-FAD-V3-H) or エア式(型番不明、温調器付き)を交換して切替可能
マッチディスペンサ　　　　：　M32-2178-0203-01
付属ステージ　　　　　　　：　交換取付可能
・ウエハーステージ φ200mm
・角ステージ W470×D370mm
・角ステージ W350×D350mm
・角ステージ W340×D340mm
・角ステージ W245×D245mm
付属オプション　　　　　　：　ワークビュー拡大機能
・塗布位置指定機能
・塗布位置補正機能
外　　寸　　　　　　　　　：　約W900×D1250×H1855mm(突起部含まず)
※シグナルタワー含む高さ約2150mm
重　　量　　　　　　　　　：　約900kg ※ワーク厚みは薄物（約数ミリ）になります。ヘッドの先端、ワークの高さ、ステージなどで変化しますので、詳細は不明な状態です。 ※本商品はFAD2500をベースとした、バッチ式の高精度タイプになります。