真空機器
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成膜装置
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サンユー電子 真空蒸着装置 SVC-700 管理番号10595
【構成】 ・真空蒸着装置:SVC-700 ・スパッタリング装置:SC-701 ・ピラニ真空計:SV-701 ・付属台 ・ロータリーポンプ:2004A(ALCATEL) ・冷却水循環装置:CCA-1000(EYELA)【仕様】 <真空蒸着部> 蒸着方式:抵抗加熱方式 蒸着極数:2組 排気系:油拡散ポンプ ロータリーポンプ(外付け:スパッタ装置と併用) ペルジャー:…
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