| ・対象基板寸法: W250×L330mm以下、高さ 保持面上下共15mm以下 |
| ・加熱方式 : 上面 熱風・遠赤外線輻射併用 |
| 下面 遠赤外線輻射 |
| ・冷却方式 : 外部ガス(N2またはAir)導入による(排気ダンパ連動) |
| ・外部ガス : 0.3~0.5MPa、100㍑/min(MAX) |
| ・測定点数 : 6ポイント |
| ・測定温度 : 常温~330℃ |
| ・装置寸法 : W830×D557×H523mm |
| ・重 量 : 約110kg |
| ・電 源 : AC 3φ200V 50/60Hz 18KVA |
| ・付属品 : PC(WinXP)、制御専用ソフトRDT-250S、PC-本体接続ケーブル |
| ※排気ダクト、ブロワ、酸素濃度計などは未付属です。 |
| 【機器ステータス】 |
| 取扱説明書あり |