日本マイクロニクスマニュアルプローバ 705A-WG2 管理番号10615

￥４００，０００．－（送料／消費税別途）

○主な仕様

・チャックサイズ　　　　：　6インチ（φ150mm）

・ステージ移動量(粗動)　：　約X315mm、Y165mm

・ステージ移動量(微動)　：　約X5mm、Y5mm

・Ｚ軸ステージストローク：　0／0.3／3.5mm＋37.5mm

・θ軸ステージ回転角度　：　粗動 360° 、微動 5°

・ウェハ保持方式　　　　：　真空吸着方式

・外　　寸　　　　　　　：　約W560×D560×H540mm

・重　　量　　　　　　　：　本体約80㎏
・圧縮空気　　　　　　　：　0.1Mpa以上（類義機MP-10A仕様を参照）
　　　　　　　　　　　　　　※ステージフローティング用途
・真　　空　　　　　　　：　-532hpa以下（類義機MP-10A仕様を参照）
　　　　　　　　　　　　　　※ウエハ吸着及びステージ吸着固定用途

・電　　源　　　　　　　：　単相AC100V、50/60Hz

【商品構成】

・プローバー本体

・実体顕微鏡：SZ60（オリンパス製）接眼レンズGSWH20×、ズームツマミ1～6.3×

・顕微鏡用リング照明

・顕微鏡取付けアーム

※LEDリング照明、マニュピレータ（針なし）×2個付属しております。

※小型真空ポンプ、コンプレッサー、除振台など未付属です。

※別途費用にて小型真空ポンプ、除振台、シールドボックは付属可能です。ご相談下さい。