・熱板有効面積 : 150×150mm(φ200mm) |
・最大ワーク高さ: 15mm |
・熱板温度 : 最大200℃ |
・加圧能力 : 1.6kN~8.0kN |
フィードバック制御 |
真空差圧及び熱板自重キャンセル付き |
・チャンバー : 真空丸形チャンパー |
スライドテーブル |
・安全装備 : エリアセンサ |
透明外周カバー |
過昇温防止装置 |
非常停止ボタン |
・制御他 : PLC制御 |
ピラニ真空計 |
・外 寸 : 約W1350×L1200×H2050mm |
・重 量 : 約1300kg |
・作動エア圧 : 0.4MPa~0.7MPa |
・電 源 : 3φ AC200V 50A |
・付属品 : 真空ポンプ(ULVAC製 GLD-202AA) |
※ 冷却用のチラーは付属しておりません |
【機器ステータス】 |
取扱説明書なし |
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