| ・熱板有効面積 : 150×150mm(φ200mm) |
| ・最大ワーク高さ: 15mm |
| ・熱板温度 : 最大200℃ |
| ・加圧能力 : 1.6kN~8.0kN |
| フィードバック制御 |
| 真空差圧及び熱板自重キャンセル付き |
| ・チャンバー : 真空丸形チャンパー |
| スライドテーブル |
| ・安全装備 : エリアセンサ |
| 透明外周カバー |
| 過昇温防止装置 |
| 非常停止ボタン |
| ・制御他 : PLC制御 |
| ピラニ真空計 |
| ・外 寸 : 約W1350×L1200×H2050mm |
| ・重 量 : 約1300kg |
| ・作動エア圧 : 0.4MPa~0.7MPa |
| ・電 源 : 3φ AC200V 50A |
| ・付属品 : 真空ポンプ(ULVAC製 GLD-202AA) |
| ※ 冷却用のチラーは付属しておりません |
【機器ステータス】 |
| 取扱説明書なし |
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