三鷹光器非接触三次元測定装置 NH-3N 管理番号11482

【主な仕様】

〇顕微鏡部

・観察高額系　　　　　：　無限遠鏡筒

・対物レンズ　　　　　：　10×（WD=7mm）、50×（WD=8.1mm）、100×（WD=3.18mm）

〇可動部

・ＸＹ軸　　　　　　　：　150ｍｍ（電動）、　Z軸：100mm（手動）／AF 10mm（電動）

・搭載台寸法　　　　　：　W244 × D240ｍｍ

・測定物最大高さ／重量：　105mm ／ 12kg

〇分解能

・ＸＹ軸　　　　　　　：　0.1μｍ

・Ｚ１軸（ＡＦ）　　　：　0.01μｍ

〇測定精度　※L=測定長（mm）

・Ｘ、Ｙ軸　　　　　　：　（2+4L／1000）μｍ

・Ｚ１（ＡＦ）　　　　：　（0.3+0.5L／10）μm

〇オートフォーカス（AF）

・フォーカスエリア　　：　100×：約1μm、50×：約2μm、10×：約15μm

・使用レーザー　　　　：　半導体レーザー（出力1mWMax 波長635nm クラス2）

〇制御ユニット

・PC（OS：Windows2000 SP4）／LCD／パソコンラック

〇電源・設置寸法・重量

・電　　源　　　　　　：　AC100 50／60Hz 7A

・設置寸法　　　　　　：　約W1,600 × D900 × H1,400ｍｍ
・重　　量　　　　　　：　約210kg

取扱説明書あり
外国為替及び外国貿易法の規定により規制貨物等（又は役務）に該当します。
リスト規制品を輸出される場合は、予め経済産業大臣の輸出許可が必要になります。

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

所在地　/　連絡先

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