キーエンス超深度マルチアングルレンズ VHX-D510 管理番号11632

【仕様】

【VHX-D510】超深度マルチアングルレンズ

・傾斜角度　　：　VHレンズ：左50度～右100度

・試料サイズ　：　全面観察Φ100㎜、試料室：200㎜×200㎜、試料高さ30㎜

・試料ステージ：　X軸±15㎜、Y軸±15㎜、Z軸30㎜、θ軸360°

・倍　　率　　：　30 ～約5000倍 (垂直観察時)、30～約2000倍（傾斜観察時）

・電　　源　　：　AC100V±10％　50／60Hz

　　　　　　　　　コントローラー　約15㎏

・外寸法　　　：　ヘッド　W673×D650×H600㎜　※Wは傾斜を最大限使用する場合

　　　　　　　　　コントローラー：W175×D460×H350㎜

・重　　量　　：　ヘッド　約40㎏

・付属品　　　：　オプション操作パネル(VHX-D1)、フィラメント2個（1つは未使用）、対物絞り1個、

　　　　　　　　　コントローラー（VHX-D500）、真空ポンプ（GLD-051）

取扱説明書あり
※標準試料は付属しておりません。（自動調整の際に使用する必要がございます）
※コントロールソフト、チャンバービューソフト、VHX-2000用の通信ソフトウェアが付属しております。

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

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