【主な仕様】 |
・コントローラ : IM-6700 |
・測定ヘッド : IM-6225(ワイド視野・可変照明タイプ) |
・撮影素子 : 660万画素モノクロCMOS |
・ディスプレイ : 10.4型、LCDカラーモニター |
・視 野 : φ100×L200mm(広視野測定モード)、 |
□25×L125mm(高精度測定モード) |
・最小表示単位 : 0.1μm |
・測定精度±2σ : 【連結なし】広視野測定モード:±5μm、 |
高精度測定モード:±2μm |
【連結あり】広視野測定モード:±(7+0.02L)μm、 |
高精度測定モード:±(4+0.02L)μm |
・データ記録 : 250GB |
・照 明 : 落射 4分割マルチアングル照明(電動) |
落射 スリットリング(指向性)照明(電動) |
・ステージ : Xステージ100mm(電動)、Zステージ30mm(電動) |
・ステージ耐荷重 : 2kg |
・電 源 : AC100V~240V 50/60Hz |
・質 量 : コントローラ約8kg、ヘッド約31㎏ |
【機器ステータス】 |
取扱説明書あり |
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