【主な仕様】 |
・光学倍率 : 0.5×~7.5×(9.33×7~0.622×0.467mm)(タイプ1) |
・ストローク : X軸300×Y軸200×Z軸150(mm) |
・オートフォーカス: TTLレーザAF/イメージAF |
・照 明 : 透過、垂直落射、8分割白色LEDリング照明(中入射角/大入射角) |
・観察カメラ : カラー1/3型CCD |
・作動距離 : 50mm |
・被検物重量 : 最大20kg |
・ホストPC : OS Windows10 |
・コントローラ部 : W250×D524×H567mm、約31kg |
・寸法・重量 : 本体部:W625×D728×H1195mm、約200kg |
【機器ステータス】 |
取扱説明書あり |
顕微鏡 > 測定顕微鏡 投影機 > 工業検査機器(電子・金属) > 寸法・形状を測る > 半導体製造装置 > 品管 品証 関連 > 電子部品製造装置 > FPD製造関連