【仕様】 |
・真空チャンパ : 外径120mm×高さ75mm ガラス製 |
(付属試料回転傾斜装置(FC-RTS) 含む高さ 約130mm) |
・試料ホルダ : 付属試料回転傾斜装置(FC-RTS)内 試料ホルダ : φ12.5mm 4個 |
試料ステージ回転数: 約30rpm |
・蒸着方式 : 抵抗過熱式 |
・カーボン電極 : 1組 |
・使用カーボン棒: Φ5.0mm 専用 |
・使用電極 : 0~5.5V、最大100A |
・ベント時間 : 約30S |
・過電流保護回路: 組込み |
・使用条件 : 25℃±5℃ |
・使用圧力 : 20Pa以下 |
・真空ポンプ : 直結型ロータリーポンプ GHD-030(ULVAC製) |
・外寸・重量 : |
本 体 : 約W350×D350×H285mm 約12kg |
真空ポンプ : 約W280×D120×H230mm(ミストトラップ含む) 約10kg |
・電 源 : 本体:AC100V 50/60Hz |
試料回転傾斜装置(FC-RTS):ACアダプタ |
※弊社にて電源投入、真空引き、カーボンコート確認済みです。 |
【機器ステータス】 |
取扱説明書あり |