日本電子オートカーボンコーター JEC-560 管理番号12194

￥４５０，０００．－（送料／消費税別途）

【仕様】

・真空チャンパ　：　外径120mm×高さ75mm ガラス製

　　　　　　　　　（付属試料回転傾斜装置（FC-RTS）含む高さ約130mm）　　

・試料ホルダ　　：　付属試料回転傾斜装置（FC-RTS）内試料ホルダ：　φ12.5mm 4個

　　　　　　　　　　試料ステージ回転数　　　　　：　約30rpm

・蒸着方式　　　：　抵抗過熱式

・カーボン電極　：　1組

・使用カーボン棒：　Φ5.0mm 専用

・使用電極　　　：　0～5.5V、最大100A

・ベント時間　　：　約30S

・過電流保護回路：　組込み

・使用条件　　　：　25℃±5℃

・使用圧力　　　：　20Pa以下

・真空ポンプ　　：　直結型ロータリーポンプ GHD-030(ULVAC製)

・外寸・重量

　本　　体　　　：　約W350×D350×H285mm 約12kg

　真空ポンプ　　：　約W280×D120×H230mm（ミストトラップ含む）約10kg

・電　　源　　　：　本体：AC100V 50/60Hz

　　　　　　　　　　試料回転傾斜装置（FC-RTS）：ACアダプタ

※弊社にて電源投入、真空引き、カーボンコート確認済みです。

取扱説明書あり

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
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理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
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