【仕様】 |
・X-Yステージ : 粗動移動量 X:200mm Y:200mm |
微動移動量 X:13mm Y:13mm |
・試料台ローテーション : 粗動移動量 180度 微動移動量 10度 |
・プローブキャリアストローク : セパレート…アップ 約500μm |
コンタクト…セパレート 約1mm |
・プローブキャリアZ移動量 : 20mm |
・外寸 : W470×D550×H630mm |
・質量 : 約55kg |
・付属 : 顕微鏡:オリンパス SZ4045CHI(0.67~4倍) |
同軸照明:対眼レンズ 30倍、 |
対物レンズ 110AL0.75X (WD130) |
同軸照明用1/4波長版:SZ-CHI |
真空ポンプ:アルバック DA-15D |
【機器ステータス】 |
取扱説明書なし ※別途圧空を接続することでアームがコンタクト位置にある時、プローブ保護のためインターロックモードとなり、粗動ステージの移動が行えなくなります。 ※マニピュレーターは未付属です。除振台、シールドボックス、マニピュレーターなど、ご希望があれば別途費用で付属可能です。ご相談下さい |
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