【年式】 |
2019年製 |
【主な仕様】 |
・測定原理 : 1チャンネル反射率分光分析 |
・測定内容 : 反射率スペクトル、厚さ測定、トレンド表示など |
・波長範囲 : 760~940nm |
・厚み範囲 : 0.1μm~ |
・測定スポット: ~2mm |
・光 源 : ハロゲンランプ(50W) |
・測定ステージ: X200 × Y200mm(電動) |
・制御PC : OS Windos10 Enterprise |
PC本体 内蔵 |
・装置外寸 : 約W600 × D700 × H500mm※液晶モニターは別途 |
・電 源 : AC100~240V 50/60Hz |
【機器ステータス】 |
取扱説明書有(日本語、英語) |
工業検査機器(電子・金属) > 膜厚を測る > 半導体製造装置 > 品管 品証 関連