日本電子 卓上走査電子顕微鏡 JCM-6000PLUS（EDX付き） 管理番号12377

【主な仕様】

SEM

・倍　　率　　　　　：　二次電子像(×10~60,000)、反射電子像(×10~30,000)

・加速電圧　　　　　：　二次電子像(5、10、15kV選択)、反射電子像(10、15kV選択)

・電子銃　　　　　　：　フィラメント・ウェーネルト一体型グリッドの小型電子銃

・フィラメント電流　：　標準、高輝度

・バイアス電圧　　　：　オートバイアス方式(加速電圧、フィラメント電流に連動)

・検出器　　　　　　：　二次電子検出器(E.T検出器)。反射電子検出器(半導体検出器)

・自動機能　　　　　：　アライメント、フォーカス、スティグマ、コントラスト、ブライトネス

・最大試料サイズ　　：　大きさ 最大70㎜Φ、高さ 最大50㎜

・ＰＣ関連　　　　　：　パソコンユニット1台、モニタ1台

・電　　源　　　　　：　単相AC100V　50/60Hz　700VA

・寸法、質量　　　　：　(鏡筒Unit)W325×D490×H430㎜、約50㎏

(電源Box)W200×D480×H270㎜、約10㎏

(ロータリーポンプ)W288.5×D127×H237㎜、約9㎏

EDS

・型　　式　　　　　：　JED-2300

・分析限度指定数　　：　最大32元素

試料コーター

・型　　式　　　　　：　DII-29020SCTR

・使用真空度　　　　：　～4Pa

・試料室サイズ　　　：　内径86㎜×深さ100㎜　硬質ガラス製

・ターゲットサイズ　：　内径49.5㎜×厚さ0.1㎜

・ターゲット電極　　：　直径20㎜

・スパッタ時間　　　：　0.5分、1分、2分

・ターゲット　　　　：　金

・電　　源　　　　　：　AC90～120V　50/60Hz　500VA

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【機器ステータス】

・取扱説明書あり ・写真の観察資料は未付属となります。 ・起動、真空引き、高圧ON、SEM像の確認、EDS分析動作確認など問題なく完了しております。

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