商談中
ヤマト科学 プラズマドライクリーナー PDC210 管理番号12402
-
【仕様】
・チャンバ内寸 ： W400×D250×H150mm ・プラズマ方式 ： DP/RIE 切替方式 ・反応ガス ： O2、Ar ・パージガス ： N2、ドライエア ・電極構造 ： 平行平板型 ・電極寸法 ： W250ｘD170mm ・電 源 ： 1φ AC200V 15A 50／60Hz ・高周波電源周波数： 13.56MHz ・高周波出力 ： 0～500W ・外 寸 ： 約W540×D600×H600mm(突起部含まず) ・重 量 ： 約105kg ・付属品 ： 真空ポンプ(ALCATEL製、型式ACP 28G)
外寸 約W330×D830×H680mm
消音ボックス付き（N2パージポート、真空吸気及び排気口、排気ダクト口（Φ100㎜））
【機器ステータス】
※取扱説明書あり
※写真のテーブルは付属していません。
※ドライポンプの消音ボックスにはN2パージポート、真空吸気及び排気口、排気ダクト口（Φ100㎜）があります。
※ポンプのベアリング保護のため、N2ガス（不活性ガス）のパージが必要です。
※ポンプ稼働中、発熱するため、冷却としてボックス内の空気を排気しないと途中でポンプが停止する構造になっております。
半導体製造装置 ＞ ウエハ製造（前工程） ＞ その他装置 ＞ 電子部品製造装置 ＞ その他製造装置 ＞ 真空機器 ＞ その他真空機器
商談中
〒802-0001
福岡県北九州市小倉北区浅野3丁目8番1号 AIMビル6F
Tel : 093-522-1711 Fax : 093-522-1712
E-mail：sales@tanaka21.co.jp
