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日本電子断面試料作製装置 IB-09010CP 管理番号12591

【主な仕様】

・イオン加速電圧　　：　2～6KV

・イオンビーム径　　：　500μｍ以上（半値幅）

・ミリングスピード　：　100μｍ／h以上

・最大搭載試料サイズ：　幅11 × 長さ10 × 厚み2（ｍｍ）

・試料移動範囲　　　：　X軸 ±10ｍｍ　　Y軸 ±3ｍｍ

・試料回転角度範囲　：　±5°

・試料スイング角　　：　±30°

・使用ガス　　　　　：　Ar（純度 99.9999％、圧力0.15±0.05MPa（1.0～2.0kg／cm2）

・試料観察機構　　　：　CCDカメラ搭載

・寸法・重量　　　　：　本体部　W545 × D550 × H420（ｍｍ）・約64kg

　　　　　　　　　　　　 RP部　約W150 × D430 × H250（ｍｍ）・約16kg

・電　　源　　　　　：　AC100～120V 50／60Hz

電子顕微鏡観察向けの試料断面作製装置で、イオンビームを用いて試料の断面を加工します。

機械的な研磨が難しい試料や硬軟混在の複合材料の断面作製に適しています。

取扱説明書あり

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過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

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