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¥400,000.-(送料/消費税別途)
【仕様】 プラズマシステム: 低エネルギー高周波(HF)プラズマ、 振動磁場システム |
イオンエネルギー: 50eV以下 |
真空システム : 本体に真空ポンプ内蔵 |
供給ガス : 酸素25%, アルゴン75% |
供給圧力 通常5psi(約0.03Mpa) |
寸 法 : 約W590mm × D620mm × H520mm |
重 量 : 約70kg程度 |
電 源 : AC100V (50/60 Hz)
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【機器ステータス】 |
・日本語の取扱説明書なし ・英語の取扱説明書あり
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