【仕様】 |
| ・コントローラ: IM-6600 |
| ・測定ヘッド : IM-6120 |
| ・撮影素子 : 660万画素CMOS(モノクロ) |
| ・ディスプレイ: 10.4型、LCDカラーモニター |
| ・視 野 : φ100×L200mm(広視野測定モード)、□25×L125mm(高精度測定モード) |
| ・最小表示単位: 0.1μm |
| ・測定精度 : 連結なし ±5μm(広視野測定モード)、±2μm(高精度測定モード) |
| 連結あり ±(7+0.02L)μm(広視野測定モード)、 |
| ±(4+0.02L)μm(高精度測定モード) |
| ・照 明 : テレエキセントリック透過照明、4分割リング照明 |
| ・ステージ : X:100mm(電動)、Z軸30mm(電動) |
| ・耐荷重 : 1kg |
| ・電 源 : AC100V~240V、50/60Hz |
| ・質 量 : 約8kg(コントローラ)、約28kg(測定ヘッド) |
【機器ステータス】 |
| 取扱説明書あり |
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