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魁半導体 卓上真空プラズマ装置 YHS-R 管理番号12725

【仕様】

本体 YHS-R
・上下部電極材  : 上部:ステンレス 下部:ステンレス
・ステージ寸法  : φ100mm
・機能      : 放電タイマー リセットスイッチ
・外寸      : 約W220×D250×H300mm
・電源      : 単相100V、50/60Hz、5A
・質量      : 6.8kg
真空ポンプ部 G-50DA
・実効排気速度  : 40リットル/min以上
・真空度     : 1.3Pa

【機器ステータス】

取扱説明書あり

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魁半導体 卓上真空プラズマ装置 YHS-R

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