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【仕様】 |
本体 YHS-R |
・上下部電極材 : 上部:ステンレス 下部:ステンレス |
・ステージ寸法 : φ100mm |
・機能 : 放電タイマー リセットスイッチ |
・外寸 : 約W220×D250×H300mm |
・電源 : 単相100V、50/60Hz、5A |
・質量 : 6.8kg |
真空ポンプ部 G-50DA |
・実効排気速度 : 40リットル/min以上 |
・真空度 : 1.3Pa |
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