【仕様】 |
・年 式 : 2001年 |
・雰囲気条件 : 大気 |
・回路構成 : 3ゾーン構成 |
・制御方式 : PID連続 |
・制御源 : SCR |
・発熱体形式 : 金属 |
・発熱体サイズ: バイロマックスD |
・温 度 : MAX1300℃ |
・熱電対形式 : R |
・炉体電力 : 6.6KW |
・搭載石英管 : ODφ60×IDφ54×L1000mm ・ガスライン : 4種(マスフロー7個) |
・外 寸 (共に突起部含まず) |
本 体: 約W2600×D600×H950mm(真空ポンプ含、本体のみ約2080mm) |
盤: 約W900×D560×H1300mm |
・電 源 : 3φ AC200V(本体)、100V(真空ゲージやマスフロー用) |
【付属品】 |
・真空ポンプ:オイルフリースクロールポンプ ISP-250B(アネスト岩田製) ※写真の真空ポンプ台車は付属しておりません。 |
【機器ステータス】 |
※仕様書や取扱説明書などの書類関連品は一切付属しておりません。 ※電源ケーブルは未付属となります。 ※冷却水用のチラーは未付属となります。 ※冷却水用の配管はミリ、インチ径の配管が入り乱れており接続部分の継手などは未付属となっております。動作確認のため、簡易的に弊社で自作した物を付属しての出荷は可能です。 ※ご準備頂くユーティリティーは電源、冷却水源、ガス(ご希望のよる)となります。 ※マスフロー7個の内、1個がツマミ破損しております。 |
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