| ・二次電子像分解能 : 3.0nm(高真空モード)、10nm(高真空モード、加速電圧3kV) |
| ・反射電子像分解能 : 4.0nm(低真空モード) |
| ・倍 率 : 5~300,000倍 |
| ・ フィラメント : カートリッジ(タングステンヘアピンフィラメント) |
| ・ 加 速 電 圧 : 0.3~30kV |
| ・ イメージシフト : ±50um以下(WD=10mm) |
| ・ 試料微動装置 : TypeⅡ 5軸モータードライブユニット |
| X 0~100mm、Y 0~50mm |
| Z(WD)5~65mm、試料回転360度、試料傾斜-20~90度 |
| ・最大試料サイズ : 200mm径 |
| ・大きさ、重量 : 本体部 W700×D800×H1460㎜、360㎏ ディスプレイ部 W850×D800×H1200㎜、120㎏ ・電 源 : 単相AC100V、2KVA、60/50Hz(本体用) ※付属品・オプション |
| PC、SEM Data Manager、5軸モータードライブユニット、 |
| 油回転ポンプGLD-137E×1台、錘×1、コンプレッサ日立0.2P-5S、 |
| 取扱説明書、試料ホルダ、試料台高さ合わせ治具など |
| 【機器ステータス】 |
| ・取扱説明書あり ・ディスプレイ部(操作する机)のPCが入っている前面扉のアクリルカバーが無いです。ラッチも無く扉が閉まりません。 |
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