| 【本体:KS-1100】 |
| ・ステージ可動範囲:XYZ:100mm, θ360° |
| ・ステージサイズ:Φ170㎜、180mm×180mm |
| ・ステージ耐荷重:1.5kgf (14.7N) |
| ・ステージ最大駆動速度:150mm/sec |
| ・ステージ最小移動分解能:0.1μm |
| ・ステージ駆動方式:リニアモータ |
| ・電源:AC 100±10 %、50/60Hz、200VA |
| ・重量:約20kg |
| ・外形寸法:W300×D450×H500㎜ |
| ・使用周囲温度:5~40 ℃ |
| ・使用周囲湿度:35~85 % RH (結露しないこと) |
| 【変位計ヘッド:LT-9010M(高精度タイプ)】 |
| 測定範囲:±0.3mm |
| 光源:赤色半導体レーザ(波長655nm)、スポット径約 o2μm |
| スキャン幅:0~1100μm (6 段階) |
| スキャン間隔:1~10μm (4 段階) |
| 分解能:0.01μm |
| 重量:約400g |
【コントローラー:LT-9500】 |
| 電源:AC100~240 V±10 %、50/60Hz |
| 重量:約2.4kg |
〇商品構成 |
| ・本体 KS-1100(変位計、アクリルカバー) |
| ・コントローラー LT-9500 |
| ・PC Win7 SP1(ソフトKS measure、KS Analyzer、モニタ、マウス、キーボード) |
| ・モニタ1台、コンソール2個 |
| 【機器ステータス】 |
| 取扱説明書あり ソフトCD未付属です |