【中古品】ニッシンプラズマ処理装置 Micro Labo-PS 管理番号13314

【仕様】

　・ステージサイズ：140x120mm(処理有効面積 120×100mm)

　・処理方法：2.45GHzマイクロ波励起プラズマ

　・処理方式：枚葉式

　・チューニング：オートチューニング

　・使用プロセス：金属ナノ焼結／還元

　・ヒーター温度：常温～300℃

　・温度制御方式：PID制御

　・ベース真空度：10Pa以下

　・外寸：W725D530×H1600mm

　・重量：約200kg

　ユーティリティ

　　・電　　　　源：3φAC200V 50/60Hz 10kVA

　　　　　　　　　　1φAC100V 50/60Hz 1.5kVA

　　・高圧エアー　：流量1.0NL/min　供給圧力 0.4～0.7MPa

　　　　　　　　　　接続方法：チューブワンタッチ差込継手(φ6mm)

　　・プロセスガス：H2　供給圧力 0.2～0.3MPa

　　　　　　　　　　接続方法：1/4”チューブ継手(SWAGELOK相当)

　　・排　　　　気：接続方法：NW50 フランジ接続

　計測機器用端子：抵抗測定用：M3.5ネジ端子

　　　　　　　　　温度測定用：K種熱電対コネクタ

取扱説明書あり

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

所在地　/　連絡先

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