| 【主な仕様】 |
| ・タイプ : 平面測定用 |
| ・光 源 : He-Neレーザー(クラス1レーザー) |
| ・形 式 : フィゾー型干渉計 |
| ・有効光束径 : φ60mm |
| ・測定感度 : λ/2(約0.3μm/縞) |
| ・基準面制度 : λ/20 |
| ・倍 率 : 1× |
| ・本体外寸 : W300 × D320 × H750(mm) |
| ・本体重量 : 訳30kg |
| ・電 源 : AC100V 50/60Hz |
| ・付属品 : Z軸カウンター(Sony製LY51)、卓上除振台(空気入れは未付属です) |
| 【機器ステータス】 |
| 取扱説明書なし |
φ4" オプチカルフラット | φ1" オプチカルスタンダード |
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