【仕様】 |
| ・試料処理室 :内径φ240mm×D240mm SUS製 |
| ・試料台 :φ4インチ |
| ・スパッタリング方式 :2極対向電極放電方式 |
| ・スパッタリング・モード : DC マグネトロン |
| ・コーティング・ターゲット : φ4インチ |
| ・膜厚設定方式 :プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
| ・ガス導入機構 :ニードルバルブ(手動式) |
| ・寸 法 :W282×D450×H440mm |
| ・重 量 :約20kg |
| ・電 源 :単相 AC100V 50/60Hz |
| ・付属品:ロータリーポンプ (ULVAC製 G-101D) |
【機器ステータス】 |
| ※取扱説明書あり ※金ターゲットが付属しております。 |