| 【仕様】 |
| ・倍率 : ×15~×30,000(デジタルズーム:×2、×4) |
| ・加速電圧 : 5kV/15kV |
| ・観察条件設定 : 表面/通常/高輝度 |
| ・観察モード : 標準モード、帯電軽減モード |
| ・画像モード : 標準、影付1、影付2、凹凸 |
| ・試料可動範囲 : X:±17.5mm、 Y:±17.5mm |
| ・電子銃 : プリセンタードカートリッジフィラメント |
| ・検出系 : 高感度4分割半導体反射電子検出器 |
| ・自動画像調整機能 : オートスタート、オートフォーカス、オート輝光 |
| ・画像形式 : BMP、TIFF、JPEG |
| ・保護機能 : 過電流保護機能付、漏電遮断器内臓 |
| ・室温 : 15~30℃(△t=±2.5℃/h以下) |
| ・湿度 : 45%~70%RH(結露しないこと) |
| ・本体電源 : 単相AC100~240V 50/60Hz 500VA |
| ・PC電源 : 単相AC100V 50/60Hz |
| ・本体寸法、質量 : W330×D633×H565mm、66.0kg |
| ・ダイアフラムポンプ : W145×D256×H217mm、4.5kg |
| ・付属 : ダイヤフラムポンプ、ノートPC(Windows7)、 |
| DEBEN チャンバスコープ付T&Rステージ(回転;連続、傾斜-15~60度) |
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