【中古品】日立イオンスパッタ装置 E-1010 管理番号13453

【仕様】

・方式　　　　　　　：　ダイオード放電

・放電方式　　　　　：　直流グロー放電(スパッタリング)／抵抗加熱方式(カーボン蒸着)

・電極形状　　　　　：　リング（φ63mm）

・標準ターゲット　　：　Au-Pd、Au、Pt-Pd、Pt

・モード　　　　　　：　High（コーティング）、Low（イオンボンバード親水処理）

・試料　　　　　　　：　最大直径50mm、最大高さ15mm

・電源　　　　　　　：　AC100V 50/60Hz 15A

・外寸　　　　　　　：　W350×D420×H320mm

・質量　　　　　　　：　約29kg

・付属　　　　　　　：　真空ポンプ（ULVAC G-50DA）

取扱説明書なし

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

所在地　/　連絡先

〒802-0001
福岡県北九州市小倉北区浅野3丁目8番1号　AIMビル6F
Tel : 093-522-1711　Fax : 093-522-1712

E-mail：sales@tanaka21.co.jp