| 〇年式 |
| 2018年 |
| 〇主な仕様 |
| 測定波長 : 230~800nm |
| 膜厚測定範囲 : 1nm~35um※SiO2換算 |
| 付属レンズ : 屈折対物レンズ5×(OPLE-5) |
| ※絶対反射率の対応波長450~800nm |
| 測定径 : φ40μm |
| フォーカス機能 : オートフォーカス |
| 多層膜解析 : 最大50層 |
| 電 源 : AC100V 50/60Hz 400VA以下 |
| ステージ : 固定台タイプ |
| 測定部寸法 : W300 × D450 × H440(mm) |
| 測定部重量 : 約30kg |
| 【機器ステータス】 |
| 取扱説明書あり |
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