【仕様】 |
| ・試料回転室内径:φ290mm |
| ・回転数:300~7000rpm |
| ・回転数表示:実回転数デジタル表示 |
| ・シーケンス:キーボードによる任意プログラム式 |
| ・外形寸法:約W362×D525×H275mm |
| ・重量:約27kg |
| ・電源:AC100V 50/60Hz |
| ※蓋あり(中央部網) |
| ※真空ポンプ付属(ULVAC製 DA-60S) |
| ※試料台については、お問合せください |
| ※オプション配管部の穴蓋は付属しておりません |
| ※チャンバー内部及び周辺は、多少のレジスト痕が付着しています。 |
【機器ステータス】 |
| 取扱説明書あり |