【中古品】レーザーテック ハイブリッドレーザーマイクロスコープ OPTELICS HYBRID+L7 管理番号13638

〇年式　　　　　：　2021年

〇主な仕様

【測定部】

・測定部タイプ　：　ハイエンドモデルL7　405nmレーザー+6色

・観察、測定機能：　微分干渉観察、白色干渉測定、位相シフト干渉測定、波長選択、反射分光膜厚測定

・光　　源　　　：　白色光源、レーザー光源（405nm） ・対物レンズ(×) ：　白色光源用　2.5、5、10、20／ELWD20、50、100／SLWD10、20、50 　※別途リスト有　　二束干渉10、50、100 　　　　　　　　　　レーザー光源用　50、100、150 ・ズーム機能　　：　1 ～ 8× ・画像情報　　　：　輝度 1,024 ×1,024×12bit／高精細モード 2.048×2,048×12bit　 　　　　　　　　　　高さ 1,024 ×1,024×16bit／高精細モード 2.048×2,048×16bit　 ・幅測定　　　　：　最小測定単位 0.001μｍ ・高さ測定　　　：　スケール分解能 0.05nm ・Zストローク　 ：　80ｍｍ ・除振台　　　　：　アクティブ卓上除振台（専用架台付） 【ソフトウェア】 ・画像取得　　　：　HDRモード、パッチワーク、マルチゲインなど ・画像処理　　　：　表面補正（傾き、球面）、ノイズ、フィルター、カラー抽出、二値化など ・形状解析　　　：　プロファイル計測、比較計測、表面粗さ、幅、ピッチ、膜厚 ・データー出力　：　専用拡張子、汎用画像ファイル、CSV、STEP ・効率化ツール　：　LMカルテ、フィルターアシスト、マクロ機能、粗さサジェスト、Officeレポート

【ステージ】 ・ストローク　　：　160×160ｍｍ電動ステージ ・ホルダー　　　：　６”ウェハ用、チルトステージ（位相シフト干渉測定用、白色干渉測定用）、

金属シート用ポーラス吸着ステージ、キャリアテープ用固定治具

【ユーティリティー】

・電　　　源　　：　AC100V 50/60Hz 800VA

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【機器ステータス】

取扱説明書あり

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