【中古品】三鷹光機非接触三次元測定装置 NH-4N 管理番号13667

【主な仕様】

〇顕微鏡部

・観察高額系　　　　　：　無限遠鏡筒（f=100ｍｍ）

・対物レンズ　　　　　：　MPLanFLN10×（WD 11mm）、LMPlanFLN20×（WD 12mm）、

　　　　　　　　　　　　　LMPlanFLN50×（WD 10.6mm）、LMPlanFLN100×（WD=3.48mm）

・CCDカメラ　　　　　：　40万画素カラーCCD

〇可動部

・ＸＹ軸　　　　　　　：　250ｍｍ（電動）

・Z軸　　　　　　　　：　100mm（電動）

・積載台寸法　　　　　：　W364 × D244（ｍｍ）

・測定物最大高さ　　　：　105mm

〇分解能

・ＸＹ軸　　　　　　　：　0.1μｍ

・Ｚ軸　　　　　　　　：　0.1μｍ

〇測定精度　※L=測定長（mm）

・Ｘ、Ｙ軸　　　　　　：　（1+5L／250）μｍ

・Ｚ軸　　　　　　　　：　（2+5L／100）μm

〇オートフォーカス部（AF）

・稼働範囲　　　　　　：　10ｍｍ

・測定精度　　　　　　：　±1μｍ／10ｍｍ

・測定再現性　　　　　：　σ=0.03μｍ

〇制御ユニット

・PC　　　　　　　　：　OS：Windows10

〇付属品

・回転ステージ機構　　　：　360°回転
・多孔質吸着ステージ　　：　薄膜などのワーク保持用

〇電源・設置寸法・重量

・電源　　　　　　　　：　AC100V 50／60Hz 5A

・装置寸法　　　　　　：　W1660 × D970 × Ｈ1400（ｍｍ）

・装置重量　　　　　　：　約250kg

【機器ステータス】

取扱説明書あり

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

所在地　/　連絡先

〒802-0001
福岡県北九州市小倉北区浅野3丁目8番1号　AIMビル6F
Tel : 093-522-1711　Fax : 093-522-1712

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【中古品】三鷹光機 非接触三次元測定装置 NH-4N 管理番号13667