| 観察法 | 明視野、暗視野、 微分干渉、落射蛍光 | ステージストローク | X100×Y105(mm) |
|---|---|---|---|
| 総合倍率 | 12.5,50,100,200 | 鏡筒 | 広視野三眼鏡筒(U-TR30-2) |
| 接眼レンズ | WHN10×(視野数22) | 照明 | 落射(ダブルランプハウス/ハロゲン、水銀) 透過(ハロゲン) |
| 対物レンズ | ・MPlanFL N 1.25× ・MPlanFL N 5、10×BD ・LMPlanFL N 20、50×BD ※長作動レンズ ・SLMPlan N 100× ※超長作動レンズ | その他 | ・水銀照明用トランス(U-RFL-T) ・蛍光ブロック:U、B、G |
| ステージ | 大型右下ハンドル(U-SIC4R2) | デジタルカメラ | 高感度200万画素カメラ FR-400C/FLOVEL製(画像計測機能有)※2025年製/PC OS:Windos11Pro |
顕微鏡 > 金属顕微鏡 半導体検査顕微鏡 > 半導体製造装置 > 品管 品証 関連