アストロデザイン 解析用マニュアルプローバー SE-6003 管理番号08824
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○主な仕様 ・ステージ移動量 ： X200mm、Y200mm ・サブステージ移動量 ： X13mm、Y13mm ・θ調整 ： 180° ・Z移動量 ： 0~25mm（UP/DOWNストローク400um） ・チャックサイズ ： 標準チャック ～8インチ（φ200mm） ホットチャック ～8インチ（φ200mm） ・ウェハ保持方式 ： 真空吸着方式 ・ホットチャック温度範囲 ： ～最高300度 ・プローバー外寸法 ： 約W500×D600×H650mm ・重量 ： 約60㎏（シールドボックス防寝台込み約250㎏） ・電源 ： AC100V、50/60Hz . 【商品構成】 ・プローバー本体 ・標準チャック及びホットチャック 各1個 ・温度コントローラー：AT-6600B ・実体顕微鏡：SZ40（オリンパス製）対物レンズ110AL0.75×、接眼レンズ×30 ・顕微鏡用照明電源：TL2（オリンパス製） ・顕微鏡XYモーション機構 ・コネクタパネル ・シールドボックス（外寸法：約W800×D950×H1650開放時H2050㎜） ※コンプレッサー、真空ポンプは付属しておりません。 ※取扱説明書未付属です。 ※マイクロポジショナーは別途費用にて付属可能です。ご相談ください 【機器ステータス】 取扱説明書なし
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