【特価販売】 ¥400,000.-(送料/消費税別途) ○主な仕様 |
・ステージ移動量 : X200mm、Y200mm |
・サブステージ移動量 : X13mm、Y13mm |
・θ調整 : 180° |
・Z移動量 : 0~25mm(UP/DOWNストローク400um) |
・チャックサイズ : 標準チャック ~8インチ(φ200mm) |
ホットチャック ~8インチ(φ200mm) |
・ウェハ保持方式 : 真空吸着方式 |
・ホットチャック温度範囲 : ~最高300度 |
・プローバー外寸法 : 約W500×D600×H650mm |
・重量 : 約60㎏(シールドボックス防寝台込み約250㎏) |
・電源 : AC100V、50/60Hz |
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【商品構成】 |
・プローバー本体 |
・標準チャック及びホットチャック 各1個 |
・温度コントローラー:AT-6600B |
・実体顕微鏡:SZ40(オリンパス製)対物レンズ110AL0.75×、接眼レンズ×30 |
・顕微鏡用照明電源:TL2(オリンパス製) |
・顕微鏡XYモーション機構 |
・コネクタパネル |
・シールドボックス(外寸法:約W800×D950×H1650開放時H2050㎜) |
※コンプレッサー、真空ポンプは付属しておりません。 |
※取扱説明書未付属です。 |
※マイクロポジショナーは別途費用にて付属可能です。ご相談ください |
【機器ステータス】 |
取扱説明書なし |