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モリエンジニアリング バレル型アッシング装置 PB-1000 管理番号09258

・本体
  石英ガラスチャンバ寸法:φ300×L500mm
  電極構造:分割対向形
  真空計:ピラニ真空計
・高周波電源装置
  発信器出力電力:1000W
  発信周波数:13.56Mhz
  出力設定方法:マニュアル式
  マッチング調整方式:オートチューニング方式(マニュアル調整可能)
・排気装置
  処理室排気:スローバキューム方式
  真空ポンプ:ULVAC EC403(オイルミストトラップ付き)
・外寸:約W780×D800×H1620mm
・ポンプ外寸:約W280×D650×H600mm
・ユーティリティ
  電源:3φ 200V 25A
     1φ 100V 5A
  ガス:バルブ駆動用 N2 供給圧力 6~7kgf/㎤
     パージ用   N2 供給圧力 1.5~2kgf/㎤
     反応ガス   O2 供給圧力 1.5kgf/㎤
            CF4 供給圧力 1.5kgf/㎤

【機器ステータス】
取扱説明書あり

モリエンジニアリング バレル型アッシング装置 PB-1000MORY ENGINEERING PLASMA MACHINE PB-1000モリエンジニアリング アッシャー PB-1000
モリエンジニアリング バレル型チャンバー PB-1000モリエンジニアリング アッシャー PB-1000MORY ENGINEERING PLASMA MACHINE PB-1000
モリエンジニアリング バレル型アッシャー PB-1000

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