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オリンパス 半導体-FPD検査顕微鏡 MX61L 管理番号09260

観察法落射:明視野、暗視野/透過:明視野、簡易偏光(PO,AN)ステージストロークX355㎜×Y304㎜
総合倍率50、100、200、500、1000×鏡筒超広視野ティルティング正立三眼鏡筒(MX-SWETTR)
接眼レンズSWH10×(視野数26.5)照明透過(ライトガイド光源)・落射
対物レンズUMPlanFL 5×BD、10×BD、20×BD、MPlanFL 50×BD、100×BDその他電動回転式レボルバー
ステージ14インチ×12インチ大型ステージ※ライトガイド、14インチ×12インチ大型ステージ付属しております。

【機器ステータス】
取扱説明書あり
300mmウェーハホルダー仕様も対応可能です。

オリンパス 半導体検査顕微鏡 MX61LOLYMPUS Semiconductor inspection microscope MX61Lオリンパス 半導体検査顕微鏡 MX50
OLYMPUS Semiconductor inspection Microscope MX50半導体検査 FPD検査 MX微分干渉観察 MX61L ライトガイド透過照明

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