島津製作所質量分析計型電子デバイス専用リークディテクタ MSE-4200S 管理番号10024

〇主な仕様

〇年　　式　　　　：　2016年

・検出感度　　　　：　10 -13～10 0Pa・m3／S［He］

・合否判定リーク値：　2.5×10-10pa・m3／S［He］

・タクト　　　　　：　約６秒（乾燥窒素ベント導入時）

・真空系　　　　　：　モレキュラードラッグポンプ（約70L／s）

　　　　　　　　　　　油回転真空ポンプ（約30L／min）

　　　　　　　　　　　大容量油回転真空ポンプ（約1080L／min）

　　　　　　　　　　　ピラニー真空計（2系統）

・テストチャンバ　：　φ80×H60ｍｍ［試料カゴ付］

・付属品　　　　　：　合否判定出力プリンター

・装置外寸・重量　：　W600×D910×H1100ｍｍ※突起物除く・約240kg

・電　　源　　　　：　φ3 200V ±10％ 50／60Hz

・ユーティリティ　：　乾燥窒素ガス（チャンバーベント用）

取扱説明書なし

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

所在地　/　連絡先

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