〇主な仕様〇年 式 : 2016年 |
| ・検出感度 : 10 -13~10 0Pa・m3/S[He] |
| ・合否判定リーク値: 2.5×10-10pa・m3/S[He] |
| ・タクト : 約6秒(乾燥窒素ベント導入時) |
| ・真空系 : モレキュラードラッグポンプ(約70L/s) |
| 油回転真空ポンプ(約30L/min) |
| 大容量油回転真空ポンプ(約1080L/min) |
| ピラニー真空計(2系統) |
| ・テストチャンバ : φ80×H60mm[試料カゴ付] |
| ・付属品 : 合否判定出力プリンター |
| ・装置外寸・重量 : W600×D910×H1100mm※突起物除く・約240kg |
| ・電 源 : φ3 200V ±10% 50/60Hz |
| ・ユーティリティ : 乾燥窒素ガス(チャンバーベント用) |
【機器ステータス】 |
| 取扱説明書なし |
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