○主な仕様 |
| ・ステージ移動量 : X軸 200mm、Y軸 200mm、θ軸 ±5° |
| ・顕微鏡ステージ移動量: X軸 25mm、Y軸 25mm |
| ・Z軸移動量 : 25mm(規定量上下移動レバー付き 3mm/300um) |
| ・チャックサイズ : 8インチ(φ200mm) |
| ・ウェハ保持方式 : 真空吸着方式 |
| ・プローバー外寸 : 約W600×D550×H700mm |
| ・重 量 : 約80㎏ |
| 【商品構成】 |
| ・プローバー本体 |
| ・金属顕微鏡 : FS70Z(ミツトヨ製)対物レンズ5X,10X,20X,50X 、接眼レンズ 10X |
| ・除振台付きシールドボックス(外寸:約W900×D800×H1540mm(突起部含む) 開放時H 約2000㎜ 重量:約220kg) |
| ・ポジショナ : 2個(日本マイクロニクス製 M202C) |
| ・顕微鏡照明 : 1個 (SCOTT製 MEGALIGHT 100) |
| 【ユーティリティ】 |
| ・真空(チャック吸着用) |
| ・圧縮空気 : 0.25MPa(除振台用) |
| ・電 源 : AC100V (顕微鏡照明用) |
| ※コンプレッサー、真空ポンプは付属しておりません。 |
| ※取扱説明書は未付属です。 |
【機器ステータス】 |
| ※取扱説明書なし ※金属顕微鏡FS70Zのズームノブ(鏡体右側面のノブ、1~2倍の間で連続的に倍率変動できる)が故障しております。ズーム機能は使用不可となております。 |
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