○主な仕様 |
・ステージ移動量:X軸 200mm、Y軸 200mm、θ軸 ±5° |
・顕微鏡ステージ移動量:X軸 25mm、Y軸 25mm |
・Z軸移動量:25mm(規定量上下移動レバー付き 3mm/300um) |
・チャックサイズ:8インチ(φ200mm) |
・ウェハ保持方式:真空吸着方式 |
・プローバー外寸:約W600×D550×H700mm |
・重量:約80㎏ |
【商品構成】 |
・プローバー本体 |
・金属顕微鏡:FS70(ミツトヨ製)対物レンズ 5X,10X,20X,50X 、接眼レンズ 10X |
・除振台付きシールドボックス(外寸:約W900×D800×H1540mm(突起部含む) 開放時H 約2000㎜ 重量:約220kg) |
・ポジショナ:2個(日本マイクロニクス製 M202C) |
・顕微鏡照明:1個 (SCOTT製 MEGALIGHT 100) |
【ユーティリティ】 |
・真空(チャック吸着用) |
・圧縮空気:0.25MPa(除振台用) |
・電源:AC100V (顕微鏡照明用) |
※コンプレッサー、真空ポンプは付属しておりません。 |
※取扱説明書は未付属です。 |
【機器ステータス】 |
取扱説明書なし |