ベクターセミコン 8インチウェハ対応マニュアルプローバー MX-1000B 管理番号10920

○主な仕様

・ステージ移動量　　　：　X軸 200mm、Y軸 200mm、θ軸 ±5°

・顕微鏡ステージ移動量：　X軸 25mm、Y軸 25mm

・Ｚ軸移動量　　　　　：　25mm（規定量上下移動レバー付き 3mm/300um）

・チャックサイズ　　　：　8インチ（φ200mm）

・ウェハ保持方式　　　：　真空吸着方式

・プローバー外寸　　　：　約W600×D550×H700mm

・重　　量　　　　　　：　約80㎏

【商品構成】

・プローバー本体

・金属顕微鏡　　　　　：　FS70Z（ミツトヨ製）対物レンズ5X,10X,20X,50X 、接眼レンズ 10X

・除振台付きシールドボックス（外寸：約W900×D800×H1540mm(突起部含む) 開放時H 約2000㎜重量：約220kg）

・ポジショナ　　　　　：　2個（日本マイクロニクス製 M202C)

・顕微鏡照明　　　　　：　1個（SCOTT製 MEGALIGHT 100）

【ユーティリティ】

・真空（チャック吸着用）

・圧縮空気　　　　　　：　0.25MPa(除振台用)

・電　　源　　　　　　：　AC100V (顕微鏡照明用)

※コンプレッサー、真空ポンプは付属しておりません。

※取扱説明書は未付属です。

※取扱説明書なし
※金属顕微鏡FS70Zのズームノブ（鏡体右側面のノブ、1～2倍の間で連続的に倍率変動できる）が故障しております。ズーム機能は使用不可となております。

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

所在地　/　連絡先

〒802-0001
福岡県北九州市小倉北区浅野3丁目8番1号　AIMビル6F
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