【中古品】日立ハイテクサイエンス走査型白色干渉顕微鏡 VERT SCAN R5500GL-LED-A150 管理番号11330

【仕様】

○観察用干渉顕微鏡　R5500シリーズ

・選択可能波長　　　　　　　　　：　530nm

・対物レンズ　　　　　　　　　　：　5x（マイケルソン型）、10x、20x、50x（ミロー型）

・接眼レンズ　　　　　　　　　　：　CFI15x、視野数14.5

・カメラ　　　　　　　　　　　　：　1/3型CCD

・光　　源　　　　　　　　　　　：　白色LED

・ピエゾ測定モード／測定レンジ　：　Phase/4μm、Wave/+10～-140μm、Focus/+10～-140μm

　　　　　　　　　　　　　　　　 ※Phaseモード時のみ波長を520nmに変更

・モーター測定モード／測定レンジ：　WaveM/150μm、FocusM/3000μm（L）、650μm（H）　　　　　　　　　　　　

　　　　　　　　　　　　　　　　　　LayerM/3000μm

・視野サイズ(ＣＣＤカメラ画素数)：　X（640,480,400,320,256,160,128）

　　　　　　　　　　　　　　　　　　Y（480,400,320,256,160,128）

・ステージ　　　　　　　　　　　：　X,Y軸電動（コントローラ及びソフトから制御）

・チルト機構　　　　　　　　　　：　ステージ下手動ハンドルにて調整（前後左右方向）

・除振機能　　　　　　　　　　　：　テーブル型空気ばね式除振台

・電　　源　　　　　　　　　　　：　AC100V、50/60Hz

○解析用ソフト　VS-Viewer

・解析機能　　　　　　　　　　　：　WAVE2（2次元うねり解析）、バンド分解、ベアリング、微分、角度・法線、

　　　　　　　　　　　　　　　　　　FFT2（2次元フーリエ変換による周波数解析）、粒子解析（突起・孔解析）、

　　　　　　　　　　　　　　　　　　Average（画像平均化）、ISOパラメータ（ISO/DIS25178-2(2007),-3.2(2010)

　　　　　　　　　　　　　　　　　　Profile（干渉プロファイル表示）、Image（CCD強度データ）他

・取扱説明書付属

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

所在地　/　連絡先

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