サムコ プラズマ洗浄機 PXA-100KM 管理番号11421

【仕様】

○反応室　　　　　　　：　約W350×D260×H100mm　ビューポート(φ20mm)を反応室正面に設置

○搬送方式　　　　　　：　搬送機構なし　ワーク類は、作業者による手載せ設置

○電極構造　　　　　　：　RIE方式

上部電極：グランド電極(アノード電極)

下部電極：パワード電極(カソード電極)

○高周波電源　　　　　：　13.56MHz 水晶発振 ソリッドステート式 MAX 1KW

Model: NAH-1013-1AP(JRC製)

○マッチング方式　　　：　フルオートマッチング方式

Model: NFC-130-1P(JRC製)

○排気系　　　　　　　：　1670L/min

Model : EV-S20A(EBARA製)

○制御系　　　　　　　：　シーケンスコントローラ(オムロン製)

○操作系　　　　　　　：　タッチパネル操作

○ユーティリティ

・圧縮空気　　　　　　：　0.5～0.7Mpa

・パージガス　　　　　：　N2 0.2MPa 流量:30L/min

・プロセスガス　　　　：　O2 0.1Mpa Ar 0.1MPa

・冷却水（チャンバー）：　0.1～0.2MPa 流量:30L/min

・冷却水（真空ポンプ）：　流量:1.5～3,0L/min

○電　　源　　　　　　：　3φ AC200V 60Hz 5KVA

○外　　寸　　　　　　：　本　体:約W1380×D820×H2050mm(突起部含まず、Hはシグナルタワー含む)

制御盤:約W800×D400×H700mm

※設置する場所を所轄する総務省の総合通信局長へ申請し、高周波利用設備許可申請を得る必要があります。

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【機器ステータス】

※取扱説明書、仕様書が付属しております。 ※電源は60Hz仕様となっております。 ※ドライポンプはオーバーホール済みとなっております。

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