サムコ プラズマ洗浄機 PXA-100KM 管理番号11421

【仕様】

反 応 室 ：約W350×D260×H100mm　ビューポート(φ20mm)を反応室正面に設置

搬送方式：搬送機構なし　ワーク類は、作業者による手載せ設置

電極構造：RIE方式

上部電極：グランド電極(アノード電極)

下部電極：パワード電極(カソード電極)

高 周 波 電 源 ：13.56MHz 水晶発振 ソリッドステート式 MAX 1KW

Model: NAH-1013-1AP(JRC製)

マッチング方式：フルオートマッチング方式

Model: NFC-130-1P(JRC製)

排気系：1670L/min

Model: EV-S20A(EBARA製)

制御系：シーケンスコントローラ(オムロン製)

操作系：タッチパネル操作

ユーティリティ

・圧縮空気：0.5～0.7Mpa

・パージガス：N2 0.2MPa 流量:30L/min

・プロセスガス：O2 0.1Mpa Ar 0.1MPa

・冷却水(チャンバー)：0.1～0.2MPa 流量:30L/min

・冷却水(真空ポンプ)：流量:1.5～3,0L/min

・電源：3φ AC200V 60Hz 5KVA

外　寸：本　体:約W1380×D820×H2050mm(突起部含まず、Hはシグナルタワー含む)

制御盤:約W800×D400×H700mm

※設置する場所を所轄する総務省の総合通信局長へ申請し、高周波利用設備許可申請を得る必要があります。

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【機器ステータス】

※取扱説明書、仕様書が付属しております。 ※電源は60Hz仕様となっております。 ※ドライポンプはオーバーホール済みとなっております。

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